LUS2330 PVD去除機
該設備采用皮秒紫外激光器,主要針對PVD、油墨等材料的選擇性去除,加工熱影響小,邊緣整齊順滑。
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采用自主研發皮秒紫外激光器,光束質量好,功率穩定性高。
● 設備搭載雙頭四工位,DD馬達旋轉加工,節省上下料時間,實現無間斷加工,有效提高加工效率,加工精度高,熱影響??;
● 設備配置全自動上下料,可實現全自動加工;
● 設備機臺均采用大理石石材,平面度好、不易變形、長期穩定性極佳;
● 設備裝配CCD視覺定位,加工精度高;
產品型號 | LUS2330 | |
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激光器參數 | 平均輸出功率 | ≥5W |
脈沖寬度 | <10ps | |
單脈沖能量 | >25uj | |
激光波長 | 355nm | |
DD馬達 | 四工位系統 | |
CCD系統 | 像素 | 1100萬像素,定位精度3um |
定位精度 | ±4um | |
工藝指標 | 透過率 | >85%(sappire) |
電阻 | >11GΩ | |
粗糙度 | <10nm | |
加工頭 | 調節方式 | 電動調焦 |
料籃 | 裝料數量 | 1個料盤72片產品 |
通用指標 | 設備尺寸 | 1580mmX1700mmX1750mm |